本系列纯化器的原理是利用合金吸附剂能与O2、N2、H2O、CO2和烃类等杂质反应生成稳定化合物或固溶体的性质来把Ar、He中的上述杂质除去,从而达到纯化之目的,净化后得到的高纯气体已广泛用于半导体、电子、冶金、锂电池制造及直读光谱分析等产业部门和科学研究中。
*如有其它特殊要求,我们可以专门设计制造
特点:*净化程度深,不仅能除去O2等较活泼的杂质,而且还可以除去象N2等惰性杂质,这是一般净化机办不到的。
*本纯化器为双塔结构,一组工作,另一组备用,故一台能顶两台单式纯化器使用。
*工作温度较低,能耗少。
流量(m3/h) |
1 |
输出压力(MPa) |
0.3 |
功率(KW) |
1.0 |
外型尺寸(mm) |
440*600*1230 |
使用电源 |
220V |
原料气 |
O2≤200ppm, N2≤200ppm, 露点≤-30℃
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输出纯气 |
O2<1ppm ;N2≤1ppm ;露点≤ -70℃;尘埃粒子数(≥0.3μm)3-5个/升
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